在半导体工厂的湿法制程区，高纯度的化学药液好像芯片的“血液”，在密闭的管路中奔腾，履行着清洗、蚀刻、抛光等要害使命。而操控这些“血液”精准活动的“心脏瓣膜”或“精准开关”，便是化学药液阀。
1、超高纯度（无污染）：阀体内部的任何金属离子分出、颗粒掉落都会直接污染药液，导致整片晶圆作废。有必要完成 “零污染”传输。
2、极强的耐腐的才能：它需求应对硫酸、氢氟酸、磷酸、氢氧化铵等各种强酸、强碱、强氧化剂。资料挑选不妥会导致阀门被快速腐蚀，失效乃至引发走漏。
3、极高的密封性：无论是封闭状况的内漏（关不严），仍是阀体与外界之间的外漏，都会形成药液配比过错、穿插污染或安全事故，有必要完成 “零走漏”。
4、快速的响应与长寿命：在自动化工艺中，阀门需求以毫秒级的速度频频敞开/封闭，并在数百万次循环后仍坚持牢靠。
5、死区极小：阀门内部结构规划有必要尽可能削减液体残留的死角，避免药液残留形成穿插污染或影响下一次配液的精确度。
在高端湿法制程中，全包覆式PFA（可溶性聚四氟乙烯）隔阂阀 是肯定的干流。
作业原理：经过气动或电动驱动，推进阀杆压下或抬起一个柔软的PFA隔阂，来完成流体的通断。
（1）流道全包覆：药液只与高纯、耐腐蚀的PFA/PETP资料触摸，与金属履行机构彻底阻隔，从本源上避免污染和腐蚀。
塑料资料：PFA 因其杰出的纯度、耐化学性和柔韧性，成为隔阂和阀体的首选。其他如PTFE（聚四氟乙烯）、PVDF（聚偏氟乙烯） 等也依据不同的药液和温度被选用。
金属资料：关于无法彻底避免金属触摸的部件（如绷簧），一定要运用哈氏合金、钛合金 等尖端耐腐蚀金属。
气动驱动：最常用，经过洁净的压缩空气或氮气操控，供给快速响应和强壮的开关力。
多位多通阀：像铁路扳道工相同，一个阀体就可以完成药液途径的杂乱切换，大大简化了体系管路规划。
反应信号：阀门内置方位传感器（如簧片开关、霍尔效应传感器），能将“开”或“关”的状况实时反应给操控办理体系，完成闭环监控，避免误操作。
死循环规划：为满意超高洁净要求，阀门在封闭时，其内部腔体也能被彻底排空或冲刷，保证无任何液体残留。
模块化与集成化：将多个阀门、传感器、流量计集成在一个模块化的“阀组”或“化学品分配模块”中，大幅度削减了管路接口，降低了走漏风险和颗粒污染物，提高了体系的牢靠性与保护性。
2、清洗设备（如RCA清洗）：按次序精准切换SPM、SC-1、SC-2、DHF等各种清洗药液和超纯水。
半导体化学药液阀，这个隐藏在设备内部的精细部件，以其杰出的耐腐蚀性、超高的洁净度和牢靠的密封性，默默地守护着每一滴贵重且风险的化学药液，保证它们在最正确的时刻，以最精准的量，抵达晶圆外表。它是半导体制作这座金字塔中，一块虽小却至关重要的柱石，是当之无愧的、驾御“腐蚀之液”的精细卫兵。
