（1）18 世纪末空气分离技术开启了工业气体行业的发展，随着气体纯度与品质的需求 不断的提高，特种气体细分市场逐步形成。电子特气技术延续于工业气体的发展进步，18 世 纪末，工业气体主要被应用于医用领域，后逐步应用于商业领域；20 世纪中期，分馏加工方 法的发明和使用，大幅度的降低了工业气体的生产所带来的成本，加速了工业气体的产业化进程；20 世 纪末，电子产业快速地发展，运用于集成电路、显示面板等电子设备的高品质、高纯度电子特 气需求增大，从而诞生了特种气体行业。至今，随着电子信息等高新技术的迅速发展，特种 气体规模不断扩张、技术壁垒不断的提高。海外企业具备多年的技术、渠道、资源、人才的积 累，在特种气体市场占据一马当先的优势，近些年国内部分领先有突出贡献的公司实现了技术突破，打破了 海外产品垄断，逐步在市场崭露头角。
（2）工业气体主要是根据纯度不同可分为大宗气体和特种气体，而电子特种气体属于特 种气体中对纯度要求更高的一类应用气体。大宗气体最重要的包含空分气体（氧、氮、氩等）以 及合成气体（乙炔、二氧化碳等），此类气体一般对纯度要求在 4N（99.99%，一个 N 代表 1 个 9）以下，大多数都用在冶金、化工、机械、电力、造船等传统领域。特种气体指在部分特 定领域应用的气体产品，根据纯度和用途又可以细分为标准气体、高纯气体和电子特种气体。 特种气体纯度一般要求在 5N 以上，电子特种气体一般要求在 6N 以上。特种气体下游主要 应用于集成电路、液晶面板、LED、光伏、生物医药、新能源等新兴产业。
（1）电子气体是晶圆制作的完整过程中占比第二大的半导体耗材，也被称为晶圆的“血液”。 根据 SEMI 的数据，2020 年全球晶圆制造材料中，电子气体占比约为 13%，是占比仅次于 硅片的半导体材料。广义的“电子气体”指可用于电子工业生产中使用的气体，是最重要原 材料之一；狭义的“电子气体”特指可用于电子半导体领域生产的特种气体，依据《战略性 新兴起的产业分类（2018）》在电子专用材料制造的重点产品分类，将电子气体分为了电子特种 气体和电子大宗气体。
（2）电子特气是贯穿晶圆制造工艺流程的关键耗材，其中在刻蚀和掺杂中使用占比较 高。细分至晶圆制造的整套工艺生产的全部过程中，使用到的电子特种气体涉及上百种，核心工段涉及 40-50 种，贯穿外延，成膜，离子注入，掺杂、刻蚀、沉积等工艺流程。其中在刻蚀、 掺杂、外延沉积以及光刻工艺中使用占比较高，分别为 36%、34%、24%和 18%。
（3）电子特气有纯度和混配精度两个核心指标，通过气体纯化和气体合成两项生产技 术来满足规定的要求。通常电子特气的纯度要求 5N 以上，晶圆制造环节中对电子特气的纯度要求 更为严格，一般在 6N 以上；而混配精度是混配气体的核心参数，即精准控制不同气体的混 配比额，行业内一般以 ppm（百万分之一，10-6）、ppb（十亿分之一，10-9）、ppt（万亿分 之一，10-12）以及百分数来表示组分配比。随着集成电路制造工艺的迭代升级，线宽越来越 窄，晶体管密度慢慢的升高，对电子特气的纯度、稳定性等指标的要求也慢慢变得高。
（4）特种气体的生产技术种类较多，相对来说合成技术与纯化技术是气体产品的纯度 与混配精度的关键技术。特种气体行业的主要生产技术包括气体纯化、气体合成、空气分离、 气体充装、气体混配、气体检测、钢瓶处理等。其中合成技术和纯化技术两个关键技术，保 证了电子特气的纯度和洁净度。
（5）根据气体的特征不同，纯化与合成技术又有多种不一样的种类的制作的过程常见的气体纯化技术主要有吸附法、精馏法、吸收法、膜分离法等，气体合成技术主要 分为电解法、化学法和电解化学法等。
（2）电子特气的运输与供气方式也是与下游客户关系绑定的重要特征之一，在晶圆厂 建厂时打入客户供应链会占据较强粘性。电子特气分为零售供气与现场制气两种，零售供气 又分为采用瓶装供气和储槽供气两种方式。特种气体的销售存在多品种、小批量、高频次的 特点，因此对于特种气体，按照每个客户的需求多采用瓶装供气模式和储槽供气两种方式。瓶装 供气模式会按照每个客户需求随时运送产品，因为特种气体单位价值较高，基本不受运输半径影 响，客户更看重产品的质量以及配送交付的稳定性。储槽供气通过低温槽车运送至客户端， 将低温液体产品储存在客户现场的储槽中，根据客户规模要求可自行气化使用，运输半径一 般在 200km 左右，合同期在 3-5 年，相对于瓶装气模式更要求客户关系和配送能力。而现 场制气一般是满足大规模用气的运输方式，只有规模较大的晶圆厂与电子特气企业才会建立 这种周期长达 5-20 年的供气方式。现场制气又分为晶圆厂近端建设供气工厂、远程管道输 送供气两种方式。
（3）TGCM 模式是针对半导体行业的一种专业化供气服务模式，对于国内气体公司而 言尚处于探索阶段。TGCM 全称为 Total Gas and Chemical Management （全面气体及化学品运维管理服务），由于气体属于危险化学品，气体供应及运维服务需要较强的专业性和 安全管控能力，而半导体厂商对气体质量和及时性的要求极高，因此大型半导体厂商通常将 整套气体及化学品的运维管理服务外包给富有经验的专业气体公司，由气体公司承担其全套 气体及危险化学品的调配、检测、库存管理及设备运维管理等服务。目前半导体领域的 TGCM 服务绝大部分由世界排名前几位的大型气体公司承接，如林德集团、液化空气、空气 化工、大阳日酸等，国内大部分公司目前处于起步阶段，未来还有很大成长空间。
（1）全球工业气体行业逐年稳步增长，中国工业气体行业起步较晚，但复合增速快于 全球 2pct 左右。根据亿渡数据的统计，2017 年全球工业气体市场规模为 7202 亿元，2021 年增长至 9432 亿元，复合增长率为 6.97%，在工业稳定发展的背景下，预计到 2026 年市 场规模将增长至 13299 亿元，2021 年到 2026 年复合增长率为 7.11%。中国工业气体行业 尽管起步较晚，但在国家政策的大力推动下以及以电子特种气体为代表的半导体领域新需求 增长，中国工业气体市场规模将保持高增长，预计到 2026 年中国工业气体市场规模将增长 至 2842 亿元，2021 年到 2026 年复合增长率为 9.63%，未来中国工业气体市场发展空间巨 大。
（2）大宗气体市场规模约占工业气体市场规模的 80%，在钢铁、石油化工等传统行业 发挥重要作用，很多电子特气公司发家于大宗气体业务。中国大宗气体市场规模从 2017 年 的 1036 亿元增长至 2021 年的 1456 亿元，年复合增长率为 8.89%。在下游钢铁、石油化 工等行业需求稳定增长以及工业气体设备技术提升等供需两端的推动下，预计 2026 年中国 大宗气体市场规模将达 2034 亿元。
（3）中国特种气体行业发展迅速，其中 63%约为电子特种气体，下游应用主要集中在 电子半导体领域。根据亿渡数据，特种气体中电子特种气体占比约为 63%。2017 年到 2021 年中国特种气体行业市场规模从 175 亿元增长至 342 亿元，年复合增长率为 18%，在电子 半导体下游需求持续增长和国家政策的鼓励推动下，预计 2026 年中国特种气体行业的市场 规模将增长至 808 亿元，2021 年到 2026 年复合增长率为 18.76%。
（4）在集成电路以及相关下业需求增长的带动下，全球电子特种气体市场规模呈 现逐年稳步增长态势。根据 TECHCET 数据，2017 年全球电子特种气体市场规模约为 36.91 亿美元，2021 年增长至 45.38 亿美元，2017 年到 2021 年的 CAGR 为 5.30%，预计 2025 年市场规模将超过 60 亿美元，2021 年到 2025 年年复合增长率预计达到 7.33%。
（5）中国电子特气市场规模逐年增长，预计 2025 年有望突破 300 亿元，四年 CAGR 约为 9.43%。根据 SEMI 数据预测，2016 年中国电子特气市场规模为 98 亿元，2022 年市 场规模达到 220.8 亿元，预计 2025 年中国电子特气市场规模有望突破至 316.6 亿元，2022 年到 2025 年复合增长率为 9.43%，增长率显著高于全球电子气体增长率，未来成长空间大。
（1）全球电子气体行业整体呈现垄断格局，林德、液化空气、大阳日酸和空气化工四 大国际巨头总计占据 91%以上的市场份额。根据观研天下数据，全球和中国电子特气市场 均主要被海外公司占据。2021 年全球主要生产商以及占有率分别是，美国空气化工（25%）、 德国林德集团（25%，林德集团和普莱克斯合并）、法国液化空气（23%）和日本酸素（18%， 原名大阳日酸），TOP4 大企业合计占据全球电子特气 91%的市场份额。同样，四大巨头在 中国占据主导地位，据 TECHCET 的数据 2020 年外资在中国电子特气市场的合计市占率 约 85%，据前瞻产业研究院预测，到 2025 年中国电子特气市场的国产化占比将提高到 25%。
（2）由于电子特种气体高达 100 多种类，在某些细分种类上也有一些知名的海外与国 内企业供应商。全球其他知名生产企业还有 SK Materials、关东电化、昭和电工、中船特气 等，这些企业在总体规模上与林德、液化空气、大阳日酸和空气化工四大国际巨头存在差距， 但在电子特气部分细分产品领域具备较强竞争力。国内部分企业专注少数几个产品，不断深 耕市场，也逐步走入全球市场。根据 Linx Consulting 数据，2021 年全球电子特气收入排名 中，国内电子特种气体龙头企业中船特气位列第九，具备了一定的市场规模与影响力。
（3）将 100 多种电子特气规模排列，前十大品种市场份额约为 58%，是电子特气的主 要组成部分。根据 Linx Consulting 数据，在 2021 年全球电子特种气体市场中，三氟化氮 市场规模排名第一，占比约 20%，六氟化钨市场规模排名第二，占比约 8%，六氟丁二烯市 场规模排名第三，占比约为 7%，三者合计占比 35%，为市场空间大、发展前景好的产品， 前十大电子特气市场规模合计约 25.37 亿美元，约占全球电子特气市场份额的 58%。
（4）在电子特气市场规模最大的三氟化氮和六氟化钨产品市场，我国中船特气已成为 全球龙头供应商，具备一定的市场影响力。2020 年中船特气的三氟化氮和六氟化钨产品分 别在占据全球市场份额的 24%和 16%，实现了国产替代，在全球范围内都具备较强竞争力。
（1）国内各厂商拓展策略略有不同，产品整体呈现错位竞争格局。从我国主要的上市 企业数据来看，其一，我国上市企业的电子特气 2022 年收入规模均在 15 亿元以下，与海 外企业存在较大差距；其二，我国上市企业的总营收结构较为复杂，多数企业经营电子特气 外，还生产关联性较强的工业气体、航空材料、半导体材料、化工材料等，企业的多元化经 营是行业特征决定的；其三，整体电子特气的毛利率在 27%-55%之间，相对较高，电子特 气属于高价值业务板块。通过我们对部分上市公司的梳理，国内目前厂商们的主打产品并不 重叠，整体呈现多点开花错位竞争的格局。
（2）我国龙头企业现有产能布局各有所长，未来规划布局来看也少有重叠。从我国企 业现有产能与规划产能来看，各家企业的布局均由自己的特色，各家企业没有形成鲜明的企 业竞争局面，这也说明我国的电子特气国产化空间巨大、电子特气种类繁多、长期空间发展 良好。
（1）电子特种气体下游应用广泛，集成电路、显示面板、半导体照明、光伏等泛半导 体领域均由应用。在集成电路行业中，电子特气主要用于成膜、光刻、刻蚀、清洗、离子注 入等环节；在面板行业中应用于成膜、清洗等环节；在光伏行业中应用于沉积、刻蚀、扩散 等环节。
（2）全球集成电路占据电子特气的 71%下游应用，而我国集成电路用电子特气占比只 有 42%，主要是我国集成电路产业发展落后于全球水平。根据前瞻产业研究院数据显示，从 全球来看，电子特种气体应用于集成电路行业的需求占市场总需求的 71%，应用于显示面板 行业的需求占市场总需求的 18%；从我国来看，电子特种气体应用于集成电路行业的需求占 市场总需求的 42%，应用于显示面板行业的需求占市场总需求的 37%。我国集成电路行业 电子特种气体的需求相对较低，主要原因为我国的集成电路产业技术水平和产业规模与世界 先进国家和地区还存在一定差距，而显示面板产业经过多年持续发展，我国已成为全球最大 的产业基地。
（3）我国集成电路产业规模持续扩大，将引领电子特种气体市场进入快速发展时期。 根据 IC Insights 数据，我国集成电路市场需求 2020 年为 1430 亿美元，2025 年预计达到 2230 亿美元，复合增长率 9.29%，我国集成电路市场需求持续攀升。中国集成电路制造 2020 年产值为 227 亿美元，自给率为 15.87%，预计 2025 年产值将达到 432 亿美元，自给率将 进一步提高到 19.37%，复合增长率达到 13.73%。
（4）中国晶圆厂近些年不断扩产，电子特气渗透率有望加速提升。根据集邦咨询数据， 全球晶圆厂不断扩建，近期计划的 24 座晶圆厂分布来看，中国占据了 6 座，在全球占比第 一。一方面，因内资晶圆产能增加而新增的半导体材料需求，为国产半导体材料供给商提供 很大的市场开拓空间；另一方面，在以美国、荷兰、日本为主的经济体不断管制中国大陆半 导体产业发展背景下，自主可控势在必行，新建晶圆厂可以重塑供应链体系，国内企业有望 获得更多的订单份额，加速电子特气国产渗透率。
（1）我国显示面板产能占全球约六成，面板行业市场规模不断扩大将加速带动电子特 气行业迅速发展。电子特气主要用于显示面板制造过程中的成膜以及刻蚀工艺，涉及硅烷、 氟化物、稀有气体和氨气等产品，显示面板在全球特气下游需求中占比约为 19%，在中国特气下游需求中占比约为 37%。近年来全球面板产业向中国转移，我国显示面板行业形成了以 京东方、TCL 科技、深天马、惠科、维信诺等重点企业领衔的产业集群，全球产能占比超过 六成，是全球第一大显示面板产业集中地。根据 Forst&Sullivan 资料显示，2020 年至 2024 年中国显示面板市场规模复合增长率为 6.34%，行业持续稳定发展，市场规模扩大将带进一 步带动电子特种气体市场稳健发展。
（2）光伏行业快速发展，电子特气市场需求也将进一步扩大。电子特气在太阳能电池 片的生产过程中主要被应用于扩散、刻蚀、沉积等工序，涉及氟化物、硅烷、氨气等产品。 根据集邦咨询的数据，2022 年全球新增光伏装机量为 228.5GW，预计 2023 年全球新增光 伏装机量为 350.6GW，同比增长 53.40%，我国 2022 年的新增光伏装机量为 87.41GW， 预计 2023 年新增光伏装机量为 148.9GW，同比增长 70.35%，增速快于全球。光伏新装机 量快速增长也将驱动电子特种气体需求不断增长。
国家出台多项电子特气产业扶持政策，加速推动特种气体行业发展。2016 年以来，国 家发改委、科技部、工信部等连续出台了《国家重点支持的高新技术领域目录》（2016）、《战 略性新兴产业重点产品和服务指导目录》《新材料产业发展指南》《重点新材料首批次产业应 用示范指导目录（2017 年版）》等多部战略新兴产业相关政策，将特种气体列入新材料产业， 大力支持和推动特种气体产业的发展。2022 年中又发布了《“十四五”原材料工业发展规划》 以及《原材料工业“三品”实施法案》，在国家对“卡脖子”环节的持续出台产业政策大力扶 持下，将加速推动特种气体行业发展。
（1）中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司位于河北省邯郸市，是国内领先、世界知名 的电子特种气体和三氟甲磺酸系列产品供应商。2000 年，七一八所成立特气工程部，开始 从事电子特种气体的研发和产业化，是国内最早从事电子特种气体研发和产业化的经营主体。 2002 年，特气工程部成功研发出纯度高达 99.9%的三氟化氮气体，填补了国内空白，打破 了国外技术垄断，标志着技术从 0 到 1 的跨越。自此，特气工程部揭开了电子特种气体国产 化替代的序幕。2007 年，特气工程部首创以三氟化氮为原材料的合成技术，成功研发了电 子级六氟化钨，此后，特气工程部攻克大批量生产关键工艺，具备了规模化的生产能力。2008 年和 2010 年，七一八所特气工程部分别建成了年产 300 吨高纯三氟化氮和年产 30 吨高纯 六氟化钨生产线，标志着规模化成果转化正式落地，开启电子特种气体国产化新征程。经过 多年发展和积累，公司目前已经具备电子特种气体及含氟新材料等 50 余种产品的生产能力， 现已成为电子特种气体收入规模最大的国内企业，位列全球第九名，是国内唯一进入前十的 企业，国际影响力逐渐提升。
（2）下游客户的真实需求增加叠加大客户深度绑定，营业收入逐年稳步增长。2022 年公司营 业收入 19.56 亿元，较 2021 年同比增长了 12.90%，主要系下游客户需求量开始上涨显著、大客 户深度绑定基础稳固以及在国家产业政策的大力推动下导致。公司 2022 年净利润为 3.83 亿 元，较 2021 年小幅增长 7.87%，尽管受到 2022 上半年原材料涨价导致增速有所放缓，但 增长势头良好。
（3）公司毛利率呈小幅下降趋势，但整体维持在较高水准。报告期内，公司毛利率分 别为 43.01%、41.64%、40.35%、37.86%、36.86%，主要系公司基本的产品三氟化氮、六氟 化钨的市场之间的竞争更激烈，公司为提升市占率主动调低产品营销售卖价格导致。三氟甲硫酸系 列产品的毛利率从 2019 年的 38.75%下降至 2022 年年中的 33.21%。
（4）公司期间费用率呈下降趋势，格外的重视研发技术投入逐年增加。公司格外的重视技 术创新，研发投入一直增长，从 2019 年的 0.52 亿元扩大至 2022 年的 1.57 亿元，年复合 增长率为 44.53%，研发投入占比也从 2019 年的 5.02%提升至 8.03%。费用端方面，公司 期间费用率整体呈现下降趋势，从 2019 年的 20.83%下降到 2022 年的 17.59%，其中财务 费用率转正为负，现金流良好；销售费用率从 2019 年的 9.74%下降至 2022 年的 6.34%， 主要系公司营业收入增长较快导致。
（1）华特气体成立于 1999 年，公司的主营业务以特种气体的研发、生产及销售为核 心，辅以普通工业气体和相关气体设备与工程业务。公司成为国内首家打破高纯六氟乙烷、 高纯三氟甲烷、高纯八氟丙烷、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯一氧化氮、Ar/F/Ne 混 合气、Kr/Ne 混合气、Ar/Ne 混合气、Kr/F/Ne 混合气等产品进口制约的气体公司。其中， Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne 和 Kr/F/Ne 等 4 种混合气于 2017 年通过全球最大的光刻机供应商 ASML 公司的产品认证。目前，公司是我国唯一通过 ASML 公司认证的气体公司，亦是全球 上述 4 个产品全部通过其认证的四家气体公司之一，并实现了近 20 个产品的进口替代，是 中国特种气体国产化的先行者。
（2）特气业务开拓发展迅速，公司业绩保持高增长水平。2022 年营业收入 18.03 亿元， 较2021年同比增长了33.84%，2022年归母净利润2.06亿元，较2021年同比增长59.48%， 公司业绩增长较快，主要系下游应用领域市场规模持续扩大带来的需求上升，拥有较高毛利 率的特种气体产品销售量升高以及客户端的持续开拓导致。
（3）公司销售净利率保持上升态势，期间费用率呈下降趋势。2019 到 2020 年年公司 整体毛利率从 35.38%降低至 25.98%，主要系公司下游客户对特种气体的需求种类多，产 品验证周期长，公司为了快速打入供应链，采取了积极的市场策略。2021 年到 2022 年毛利 率提升了 2.69pct，总体呈现出企稳回升的态势。公司净利率总体呈现逐年稳步上升的态势， 受益于公司有效的成本管控，期间费用率也从 2019年的 25.12%下降到了 2022年的 12.70%， 总体呈现下降趋势。
（1）金宏气体成立于 1999 年，是一家专门干气体研发、生产、销售和服务的环保集 约型综合气体供应商。公司的产品线较广，既生产超纯氨、高纯氢、高纯氧化亚氮、干冰、 硅烷、其他超高纯气体、混合气等特种气体，又生产应用于半导体行业的电子大宗气体和应 用于其他工业领域的大宗气体及天然气，能够为客户提供大宗气体、特种气体和天然气三大 类 100 多个气体品种。
（2）公司业绩呈现持续增长态势，预计 2023 年稳步上升。公司的营业收入从 2021 年 的 17.41 亿元增长至 2022 年的 19.67 亿元，同比增长 12.97%，主要系公司积极把握市场 机遇，加大市场开发力度，产品竞争力不断的提高，收入规模持续增长所致。2022 年公司归 母净利润 2.29 亿元，同比增长 37.14%，主要系原材料价格回落，经营成本相对降低，公司 对部分产品提价，从而提振利润水平。
（3）特气占比逐步提升与大宗气体业务持平，毛利率受益于高毛利产品投产放量得以 修复。2022 年公司特种气体实现盈利收入 7.44 亿元占比为 37.84%，大宗气体业务实现盈利收入 7.92 亿元占比约为 40.28%，两者基本持平；毛利率方面，整体毛利率在 2020 年会降低，主 要系公司执行新收入准则调整导致，2021 年气源价格抬升导致经营成本升高，毛利率下降； 2022 年原材料价格回落，加上特气新品种投产放量，毛利率上升至 35.97%。
（4）公司积极扩张费用率略有上升，研发投入持续稳步增长。公司 2020 年到 2022 年， 期间费用率上升了 3.74pct，主要系销售人员增加、职工薪酬增加、汇兑损益影响、研发投 入加大和研发人员薪酬提升等因素导致。公司重视研发投入，2022 年研发费用为 8465.80 万元，研发投入占据营业收入的 4.30%，截至 2022 年 12 月 31 日公司共取得各项专利 287 项，其中发明专利 61 项。
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