电子特气是指当气体中的电子浓度十分高时,电子的自在程比气体分子的自在程要短,导致气体分子与电子之间的相互作用明显地增强,进而使气体分子电离并构成的一种高度电离的等离子体。电子特气具有高纯度、稳定性、多样性的特色,在电子工业中具有广泛的使用。
中商工业研究院发布的《2024-2030年全球及我国电子特种气体职业远景与商场趋势洞悉专题研究报告》显现,2023年全球电子特气商场规模56亿美元,中商工业研究院剖析师猜测,2024年全球电子特气商场规模将达60亿美元。
我国电子特气商场规模相同呈现出稳步增加的趋势。中商工业研究院发布的《2024-2030年全球及我国电子特种气体职业远景与商场趋势洞悉专题研究报告》显现,2023年我国电子特气商场规模249亿元,中商工业研究院剖析师猜测,跟着集成电路和显现面板等半导体工业的加快速度进行开展,电子特气的需求将持续增加,2024年我国电子特气商场规模将达262.5亿元。
国内企业所能批量出产的特种气体仍大多散布在在集成电路的清洗、蚀刻、光刻等工艺环节,对掺杂、堆积等工艺的特种气体仅有少部分种类获得打破,自主供给才能缺乏。
我国电子特气国产化率较低,2020年电子特气国产化率仅14%,例如集成电路出产用的电子特气,我国仅能出产约20%的种类,所占国内商场占有率仅为12%。估计2025年我国电子特气国产化率有望提升至25%。
电子特种气体大多数都用在集成电路、显现面板、LED、光伏等范畴。其间,集成电路占比最多,达43%。其次分别为显现面板、LED、光伏,占比分别为21%、13%、6%。
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